微小气体流量计选型，西安仪表生产厂家4000系列

型号：mf4003 mf4008 mf4001

MF4000系列小流量气体质量流量计是基于矽翔微机电系统有限

公司自主研制MEMS流量传感芯片，其原理是利用流动气体传热传质

的依存关系，在其上、下游产生温度变化而得到气体的质量流量。

该流量计同时实现热源的产生与温度的测量。当芯片处于工作

状态时，在传感器的周边形成稳定的温度场分布。一旦一定质量的

气体流过传感器时，气体的流动将破坏该温度场的分布，形成特定

的、取决于该气体的质量和速度的温度场分布。微机电系统流量计

芯片上的传感器将测量这一变化并把这一变化转换为电信号，由一

个专门的电路变送器对此信号进行放大、调理并作线性化处理。由

于不同质量的气体对传感器的周边形成稳定的温度场分布所产生的

扰动不同，因而能测量气体的质量流量或总流量。